摘要
介绍当前微加工技术现状。
Introduce present situation of micro processing technology,mainly exposure technology and dry corrosion technology.
出处
《电子工艺技术》
1997年第3期87-89,共3页
Electronics Process Technology
关键词
微细加工
曝光
干蚀
掩膜
Micro processing Exposure technology Dry corrosion Mask
