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ZnO薄膜气敏元件的反应温变和表面反应速率方程

Reaction Temperature Change and Surface Reaction Rate Equation of Zinc Oxide Thin Film Gas Sensor
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摘要 提出了一种研究气敏元件和材料反应温变的方法和实验装置;给出了反应温变Δtrea随气体浓度C变化的规律;给出了反应放热率Prea与反应温变Δtrea的关系式;得到了表面反应的速率方程一般形式,它包括了目前常用的两种经验公式:双曲线型和幂函数型. A method to research the reaction temperature change of gas sensor and its material, the corre- sponding experiment apparatus was proposed. The relationship between the reaction temperature change Δtrea and the gas concentration C was given. From the formula of reaction exothermic rate Ptea∝Δtrea, the general expression of surface reaction rate equation yielded, which contains two common using experience formulas, hyperbola type and power type.
出处 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1723-1726,共4页 Chinese Journal of Sensors and Actuators
基金 国家自然自然科学基金项目资助(60372030) 山东省火炬计划项目资助(111600/04040214)
关键词 ZNO 薄膜 反应温变 表面 速率方程 zinc oxide thin film reaction temperature change surface rate equation
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