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等离子技术生长超纳米金刚石晶体涂层

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摘要 美国阿尔贡国家实验室开发出一种新的金刚石纳米晶生长方法。超纳米晶金刚石涂层(UNCD)是一种具有特殊微结构的薄膜,它的机械强度特高,而且具有非常好的断裂韧性。UNCD薄膜可采用突发微波等离子化学气相沉积法在多种衬底上生长。
出处 《现代材料动态》 2007年第7期9-9,共1页 Information of Advanced Materials
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