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罗门哈斯推出高级化学机械研磨(CMP)专用新型VISIONPAD^(TM)产品

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摘要 在全球半导体行业化学机械研磨(CMP)技术及创新方面处于领先地位的罗门哈斯电子材料公司CMP技术事业部近日宣布其VisionPad?研磨垫系列又增添了二款新品。这二款产品可提供世界级的低生产缺陷率、极高的研磨能力和更长的使用寿命。
出处 《电子工业专用设备》 2007年第8期60-60,共1页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

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