尼康上市生产能力提高20％的ArF曝光机和KrF曝光机

尼康面向半导体行业开发出了用于量产的干式ArF曝光机“NSR—S310F”和KrF曝光机“NSR—S210D”。2种曝光机通过采用为ArF液浸曝光机开发的串联载物台，实现了高生产能力和高定位性能。前者将于2007年10～12月上市，后者将于2008年1～3月E市。