离子束增强沉积技术在制备优良抗蚀膜层方面的研究进展
被引量：1
摘要
介绍了一种新型表面改性技术——离子束增强沉积技术的原理、方法,综述了该技术在制备优良抗蚀膜层方面的优势及最新研究进展。
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
1997年第1期1-5,共5页
Surface Technology
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