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计算光刻驱动DFM的拥有成本
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摘要
45和32nm节点的可制造性需要新的策略。计算光刻提供了为设计流程定义解决方案的方法。
作者
Chades Albertalli Tom Kingsley Mentor Graphics
出处
《集成电路应用》
2007年第7期16-20,共5页
Application of IC
关键词
光刻
计算
DFM
成本
驱动
可制造性
流程定义
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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集成电路应用
2007年 第7期
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