摘要
在多晶硅／二氧化硅栅被使用了40多年之后。产业界面临着转向高k／金属栅堆叠的挑战。我们正在目睹一个时代的结束。
出处
《集成电路应用》
2007年第7期29-33,共5页
Application of IC
同被引文献6
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