氦离子显微镜对SEM的补充

由ALIS公司推出的氦离子显微镜（HIM）有望弥补传统扫描电子显微镜（SEM）的部分缺点。在普通的SEM中，探针尺寸主要受到两个条件的限制。其一是衍射，因为电子具有波动性，其德布罗意波长不为零。当电子流经一个狭缝时会发散开，从而使探针尺寸变大。较大的狭缝可以降低衍射效应，但却会导致色差的增大，这是另一种负面效应。