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罗门哈斯推出专用新型VISIONPAD^(TM)产品 被引量:1

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摘要 在全球半导体行业化学机械研磨(CMP)技术及创新方面处于领先地位的罗门哈斯电子材料公司CMP技术事业部最近宣布其Vision Pad^TM研磨垫系列又增添了两款新品。这两款产品可提供世界级的低生产缺陷率、极高的研磨能力和更长的使用寿命。
作者 涂闽
出处 《上海化工》 CAS 2007年第8期48-48,共1页 Shanghai Chemical Industry
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