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罗门哈斯推出专用新型VISIONPAD^(TM)产品
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1
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摘要
在全球半导体行业化学机械研磨(CMP)技术及创新方面处于领先地位的罗门哈斯电子材料公司CMP技术事业部最近宣布其Vision Pad^TM研磨垫系列又增添了两款新品。这两款产品可提供世界级的低生产缺陷率、极高的研磨能力和更长的使用寿命。
作者
涂闽
出处
《上海化工》
CAS
2007年第8期48-48,共1页
Shanghai Chemical Industry
关键词
产品
罗门哈斯电子材料公司
化学机械研磨
CMP技术
半导体行业
使用寿命
研磨能力
缺陷率
分类号
F416.72 [经济管理—产业经济]
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上海化工
2007年 第8期
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