扫描探针显微镜的纳米尺度表面改性和微细加工技术

Contributions of Scanning Probe Microscope to Fabrication of Nonometer-Scale Structures and Surface Modmcatbn

下载PDF

导出

摘要本文较全面地讨论了近几年来国外有关利用扫描探针显微镜进行纳米尺度表面改性和微细加工工作的现状和发展，重点讨论纳米尺寸光刻制板技术的发展．最后，本文简要介绍本课题组利用扫描隧道显微镜进行纳米尺度曝光的有关工作，希望引起更多科技工作者的重视，以便进一步推进我国在纳米技术领域的发展．

作者赵玉清唐天同徐蛟

机构地区西安交通大学电信学院

出处《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第8期67-72,77,共7页 Acta Electronica Sinica

关键词扫描探针技术微细加工技术集成电路

参考文献2

1童志义.国外光刻制版设备发展动态(续)[J].半导体技术,1993,9(4):33-34. 被引量：2
2半导体与微电子技术[J].电子科技文摘,1999(11):35-35.
3IBM开发出能清除纳米级机械磨损的方法[J].广东科技,2009,18(23):11-11.
4IBM开发出能清除纳米级机械磨损的方法[J].润滑与密封,2009,34(11):26-26.
5IBM开发出能清除纳米级机械磨损的方法[J].硅酸盐通报,2009,28(B08):129-129.
6IBM开发出能清除纳米级机械磨损的方法[J].表面工程资讯,2009,9(6):11-11.
7姜斌,恽正中.扫描探针技术的进展[J].仪器仪表学报,1996,17(S1):83-83.
8Yue-Wei Yin,Muralikrishna Raju,Wei-Jin Hu,Xiao-Jun Weng,Ke Zou,Jun Zhu,Xiao-Guang Li,Zhi-Dong Zhang,Qi Li.Multiferroic tunnel junctions[J].Frontiers of physics,2012,7(4):380-385. 被引量：2
9张国平,明海,陈晓刚,吴云霞,谢建平.SNOM 光纤探针传输效率的研究[J].大连理工大学学报,1997,37(S2):73-73.
10李文萍,顾文琪.纳米制造和测量技术产业化的研究[J].光电工程,2006,33(12):15-18.

电子学报

1997年第8期

内容加载中请稍等...