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细长小孔超精密自动测量系统研究及其精度分析 被引量:2

Study on Slender Hole Ultra-precision Measuring System and Precision Analysis
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摘要 针对细长小孔孔径难以实现超精密测量这一问题,提出了一种应用气动量仪对细长小孔进行超精密测量的新方法,并根据气动量仪的测量特点,设计了细长小孔超精密自动测量系统,深入分析了该测量系统的精度影响因素。该系统由测量、运动控制和数据处理三部分组成,可实现对细长小孔的孔径、圆度和圆柱度等的非接触精密测量,测量精度可达0.5μm。
出处 《液压与气动》 北大核心 2007年第8期50-52,共3页 Chinese Hydraulics & Pneumatics
  • 相关文献

参考文献3

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  • 2C.K.Huang,L.G.Wang,H.C.Tang,Y.S.Tang.Automatic laser inspection of outer diameter run-out and taper of micro-drills[J].Materials Processing Technology,2006:(17):171.
  • 3谢艳平,许栋青.浮标式气动量仪的测量不确定度分析[J].工业计量,2001,11(5):31-31. 被引量:1

同被引文献19

引证文献2

二级引证文献17

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