PLC在半导体工业气体监控系统中的应用

本文主要介绍半导体工业气体监控系统(GMS-Gas Monitoring System)开发的基于PLC的控制系统。该系统具有控制功能强、编程简单、维护方便,可在线修改逻辑等特点。PLC不仅能完成复杂的继电器控制逻辑,而且也能实现模拟量的控制,甚至智能控制,并能实现远程通信、联网及上位监控等。