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清泉池濯洗尘芯

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摘要 “泉石磷磷声似琴．闲眠静听洗尘心”。《半导体国际》即将于流火八月主办的第四届晶圆清洗研讨会，在炎炎夏日里为业内人士带来一次坐币论道．一洗尘”芯”的良机。

作者汪辉

机构地区 <半导体国际>

出处《集成电路应用》 2007年第8期18-18,共1页 Application of IC

关键词半导体清洗工艺湿法技术单晶圆国产化清洗设备

分类号 TN3 [电子电信—物理电子学]

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集成电路应用

2007年第8期

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