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在三种泵体系中研磨液颗粒尺寸分布对过滤器使用寿命的影响

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摘要 在输系统一般用于供应研磨液.这种研磨液用于在生产半导体芯片过程中的平整晶圆的工序。这种系统通过对研磨液加压使之得以传输到使用设备上去.并使研磨液不断循环以使得颗粒保持悬浮状态。有多种方法可以实现对研磨液的加压和循环,包括各种的泵体和压力真空技术。一般来说.在使用研磨液制造晶圆之前.研磨液需要通过传输系统循环大约100次1。
出处 《集成电路应用》 2007年第8期37-38,40,共3页 Application of IC
  • 相关文献

参考文献3

  • 1Z.Lin,G.Vasilopoulos,K.Devriendt,and M.Meuris. SEMICON West99Techni-cal Program . 1999
  • 2M.Litchy,and R.Schoeb.Semiconductor Inter-national[]..2004
  • 3.

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