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脉冲激光沉积SrBi_2Ta_2O_9铁电薄膜的研究 被引量:5

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摘要 铁电薄膜存储器(FRAM)由于具有动态随机存储器(DRAM)快速读写功能和可擦写唯读存储器(EPROM)非挥发性,又具有抗辐照、功耗低等特性,已成为国际上固态器件研究的一个热点。铁电存储器常用的铁电材料是Pb(ZrTi)O_3(PZT)等氧化物钙钛矿结构材料。由于这些铁电材料抗疲劳性能较差,阻碍了铁电存储器的商品化进程。de Araujo等人报道了铋系层状类钙钛矿结构的铁电薄膜具有抗疲劳特性,用这类铁电材料制作的铁电存储器,在10^(12)次重复开关极化后,仍没有显示疲劳现象,并且具有很好的信息储存寿命和较低的漏电流。
出处 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第2期220-222,共3页 Chinese Science Bulletin
  • 相关文献

参考文献1

  • 1郑立荣,Chin Phys Lett,1994年,11卷,518页

同被引文献10

引证文献5

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