低能（5—100eV）,高亮度,超高真空离子源

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作者甘德昌

出处《等离子体应用技术快报》 1997年第3期7-8,共2页

关键词离子源超高真空高亮度等离子体

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等离子体应用技术快报

1997年第3期

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