准分子和准分子雷射
出处
《光学工程》
CSCD
1990年第37期41-43,共3页
-
1楼祺洪.高功率准分子激光的发展现状及一些应用前景[J].国外激光,1990(2):6-8. 被引量:1
-
2王世贵.准分子激光光刻技术[J].国外激光,1990(3):29-32.
-
3楼祺洪.准分子激光及其在微细加工中的应用[J].电子器件,1994,17(2):13-19.
-
4姚永邦.准分子激光20年[J].光电子技术与信息,1995,8(5):1-6. 被引量:1
-
5楼祺洪.日本准分子激光的进展[J].强激光技术进展,1996,6(1):20-24.
-
6冯伯儒.准分子激光的应用[J].微细加工技术,1994(3):43-51. 被引量:4
-
7卿太全.雷射CD机原理与维修(一)[J].家用电器,1992(7):7-9.
-
8卿太全.雷射CD机原理与维修(二)[J].家用电器,1992(8):8-11.
-
9张玉书.准分子激光微细加工技术现状与展望[J].LSI制造与测试,1990,11(6):36-40. 被引量:1
-
10友清.用准分子激光进行微加工[J].激光与光电子学进展,1998,35(8):30-33.
;