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用射频磁控溅射法制备金属/半导体颗粒膜 被引量:1

Metal/semiconductor granular films prepared by RF magnetron sputtering method
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摘要 用射频磁控溅射法制备了金属/半导体Fex(In2O3)1-x颗粒膜,研究了该系列颗粒膜的微结构和磁性.实验结果表明:纳米尺度的Fe颗粒均匀地分散在非晶态In2O3中.室温下样品具有超顺磁性,符合朗之万方程. Metal/semiconductor Fex (In2O3)1-x granular films are prepared by RF sputtering method. The microstructure and magnetic properties are studied. The experiment results showed that the nanometer-sized Fe particles uniformly dispersed in the amorphous In2O3. At room temperature, the film shows superparamagnetic behavior, following the Langevin equation.
作者 黄宝歆
机构地区 潍坊学院物理系
出处 《大学物理》 北大核心 2007年第9期43-45,51,共4页 College Physics
基金 国家自然科学基金资助项目(59571016) 潍坊学院自然科学基金资助项目(2007Z01)
关键词 微结构 颗粒尺寸 超顺磁性 microstructure grain size superparamagnetism
  • 相关文献

参考文献5

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同被引文献19

引证文献1

二级引证文献8

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