CN200610024508．0在复杂形状刀具上制备金刚石薄膜的化学气相沉积方法

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摘要一种镀覆技术领域的在复杂形状刀具上制备金刚石薄膜的化学气相沉积方法，在热丝CVD沉积金刚石薄膜的基础上，采用螺旋形热丝结构进行复杂形状刀具金刚石涂层的沉积，将复杂形状刀具竖直放入螺旋形热丝结构的内部，其轴心和螺旋形热丝结构的中心相重合，在沉积过程中，复杂形状刀具自身通过设备工作台绕其轴心旋转，采用螺旋形热丝结构保证了复杂形状刀具各部分与热丝之间的距离均匀，

出处《磨料磨具通讯》 2007年第8期36-36,共1页

关键词化学气相沉积方法复杂形状刀具金刚石薄膜制备热丝CVD 金刚石涂层螺旋形沉积过程

分类号 TG71 [金属学及工艺—刀具与模具]

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