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半导体激光器腔面镀膜技术研究进展

Progress in Research on Facet Coating of Semiconductor Laser
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摘要 本文介绍了近年来半导体激光器腔面镀膜技术的研究进展,重点综述了膜系设计,工艺技术、薄膜材料及测试技术等几个方面的研究热点和重要成果,最后还对半导体激光器腔面镀膜的未来进行展望。 This paper introduced the present status of study on facet coating of semiconductor laser, laid a strong emphasis on the focal points and some important achievements in the field of film design principle, manufacturing methods, film material and performance measurement , prospect the future of the facet coating of semiconductor laser.
出处 《中国材料科技与设备》 2007年第5期27-30,共4页 Chinese Materials Science Technology & Equipment
关键词 增透膜 高反膜 脉冲激光沉积 激光烧蚀刻蚀 AR HR Pulse laser deposition Laser ablation etching
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