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用多面体测试分度误差研究 被引量:2

Reaserch on the testing dividing error by Polygon mirror
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摘要 采用多面体和光电平行光管测试圆刻机分度误差,比较了12、36、72面体的测试特点。 The dividing error of the circular dividing machine were measured with a polygon mirror and a photo electric auto collimator. The characteristics of measuring with 12,36 and 72 sided polygon mirror are compared. From the measuring data analysis, Some error factors can be fonnd.
作者 曹向群 金彤
出处 《光学技术》 CAS CSCD 1997年第1期31-34,共4页 Optical Technique
关键词 多面本 分度误差 测试 polygon mirror, dividing error, measring.
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