PCVD方法合成A1N基金刚石薄膜热沉

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摘要利用PCVD方法，对在AlN基板上合成金刚石薄膜进行实验研究，并就提高金刚石薄膜热导率及增强其与基底的粘附力等问题进行分析和讨论。

作者姚东升温晓辉詹如娟朱晓东

机构地区中国科技大学近代物理系

出处《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1997年第2期135-137,共3页 Vacuum Science and Technology

基金国家自然科学基金

关键词金刚石薄膜热导率粘附力 ALN PCVD

参考文献1

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真空科学与技术

1997年第2期

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