期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
我国自主研制成功新型硅单晶炉
下载PDF
职称材料
导出
摘要
据有关媒体报道,由西安理工大学和北京有色金属研究总院承担的国家“863”计划项目“TDR-150型单晶炉(12英寸MCZ综合系统)”日前在北京通过了验收,这标志着拥有自主知识产权和核心技术的大尺寸集成电路与太阳能用硅单晶生长设备在我国研制成功。验收专家组一致认为,TDR-150型单晶炉性能稳定可靠,运行平稳,填补了国内12英寸无位错硅单晶生长设备的空白。
作者
张忠模
出处
《功能材料信息》
2007年第4期60-60,共1页
Functional Materials Information
关键词
单晶炉
硅单晶
北京有色金属研究总院
自主研制
西安理工大学
自主知识产权
150型
生长设备
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
0
共引文献
0
同被引文献
0
引证文献
0
二级引证文献
0
1
我国自主研发的新型硅单晶炉“出炉”[J]
.发明与创新(大科技),2007(9):22-22.
2
张秀澹.
MCZ硅单晶及其应用[J]
.半导体技术,1989,5(1):16-17.
3
李留臣,冯.
我国硅单晶生长设备的现状与发展[J]
.电子工业专用设备,2007,36(3):5-7.
被引量:2
4
Э.С.法勒克维奇,И.Ф.切沃勒.
无坩埚区熔法生长的无位错硅单晶中微缺陷形成的特征[J]
.半导体杂志,1997,22(3):35-38.
被引量:3
5
晶龙硅单晶生长设备替代进口[J]
.河南化工,2009,26(4):50-50.
6
卢宁,黄永谦.
MCZ硅的氧碳含量及电阻率均匀性[J]
.上海微电子技术和应用,1996(1):4-8.
7
David / Kelly.
初冬时节话壁炉意大利MCZ木粒炉赏析[J]
.上海调味品,2013(10):52-54.
8
电子材料[J]
.新材料产业,2007(9):82-83.
9
展超.
创酷型格组合的又一步 还其真容的Avance(皇冠)Beta(贝达)家庭影院音箱[J]
.家庭影院技术,2014(7):64-65.
被引量:1
10
IPG Photonics将携多款新品亮相慕尼黑光博会[J]
.金属加工(热加工),2016,0(4):1-1.
功能材料信息
2007年 第4期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部