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电装开发出降低激光扫描仪成本的技术
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摘要
日本电装公司已开发成功在硅底板上一体形成微小棱镜和透镜等光学元件阵列的技术。该技术可以利用深反应离子刻蚀(DRIE)工艺,形成数百微米见方的微小光学元件阵列。该公司虽然没有公布技术的具体用途,但是因为具有控制激光方向的功能,估计可用于车载领域的障碍物检测。
出处
《光机电信息》
2007年第9期49-50,共2页
OME Information
关键词
日本电装公司
激光扫描仪
技术
开发
微小光学元件
深反应离子刻蚀
成本
障碍物检测
分类号
TN491 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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