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扫描电镜非导电样品的等离子溅射镀膜方法
被引量:
7
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摘要
在扫描电镜非导电或导电性差的样品制备过程中,通常使用等离子溅射镀膜方法对样品表面进行导电处理。本文主要叙述等离子溅射镀膜的原理与方法,并简单介绍了磁控管溅射仪和锇等离子镀膜仪等。
作者
郑东
机构地区
北京师范大学
出处
《中国现代教育装备》
2007年第10期19-20,共2页
China Modern Educational Equipment
关键词
扫描电镜
非导电样品
等离子溅射镀膜
磁控管溅射仪
锇等离子镀膜仪
分类号
TQ153 [化学工程—电化学工业]
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