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国外硅单晶质量研究进展(续Ⅲ)

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摘要国外硅单晶质量研究进展（续Ⅲ）①王旗陈振浦树德杨晴初（西南技术物理所，成都６１００４１）６硅单晶质量检测技术６．１常用技术随着半导体工业的发展，也随之发展起了一系列质检技术。其中一些技术由于其优越性而得到广泛应用，并且在几十年的应用期间不断完善、改进...

作者王旗陈振浦树德杨晴初

机构地区西南技术物理所

出处《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1997年第2期98-100,共3页 Semiconductor Optoelectronics

关键词硅单晶质量检测半导体材料

分类号 TN304.12 [电子电信—物理电子学]

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半导体光电

1997年第2期

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