摘要
介绍了一种用于工程的多功能数字散斑干涉仪的测量原理、系统结构和设计特点。
A real-time digital speckle pattern interferometer (DSPI) is introduced.Principle of measurement for the interferometer is discussed as well as its structure and design features .And measured results are given.
出处
《半导体光电》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第2期118-121,共4页
Semiconductor Optoelectronics
基金
国家"产学研联合工程"重点项目