光辐射显微技术在器件失效定位中的应用

本文介绍了首次采用光辐射显微技术对半导体器件进行失效分析和缺陷定位的应用实例，分析过程快速、简便失效定位准确、直观，显示了光辐射显微技术在失效分析，尤其是失效定位方面的优越功能。