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罗门哈斯推出高级化学机械研磨(CMP)专用新型VisonPad产品
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摘要
新型Vision Pad3200及Vision Pad3500研磨垫在金属研磨方面兼具软、硬研磨垫之优点。在全球半导体行业化学机械研磨(CMP)技术及创新方面处于领先地位的罗门哈斯电子材料公司CMP技术事业部近日宣布其VisionPad研磨垫系列又增添了两款新品。这两款产品可提供世界级的低生产缺陷率,极高的研磨能力和更长的使用寿命。
出处
《工程塑料应用》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第9期28-28,共1页
Engineering Plastics Application
关键词
化学机械研磨
产品
罗门哈斯电子材料公司
CMP技术
半导体行业
使用寿命
研磨能力
缺陷率
分类号
TN405.96 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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工程塑料应用
2007年 第9期
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