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罗门哈斯推出高级化学机械研磨(CMP)专用新型VisonPad产品

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摘要 新型Vision Pad3200及Vision Pad3500研磨垫在金属研磨方面兼具软、硬研磨垫之优点。在全球半导体行业化学机械研磨(CMP)技术及创新方面处于领先地位的罗门哈斯电子材料公司CMP技术事业部近日宣布其VisionPad研磨垫系列又增添了两款新品。这两款产品可提供世界级的低生产缺陷率,极高的研磨能力和更长的使用寿命。
出处 《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2007年第9期28-28,共1页 Engineering Plastics Application

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