拓扑优化在微型柔性结构设计中的应用

针对微电子机械系统中微夹钳、微型柔性导向机构两种典型的微型柔性结构静、动力学问题,根据拓扑优化的基本思想,采用变密度法原理,基于Altair Optistruct软件拓扑优化平台,建立了静、动力学两种不同特性下的拓扑优化模型。分析并研究了结构形式、优化参数、网格划分形式、外载荷加载方式等对拓扑优化结果的影响。并针对出现网格依赖性现象的处理进行了探讨。