研磨垫

VisionPad3200及VisionPad3500专为需要使用高级金属加工工艺的半导体制造商设计。这两款研磨垫应用独特的化学研磨技术，可大幅度地减少晶圆上的划痕、振纹及其他缺陷，从而提高晶粒产量。这两种新型研磨垫时采用了公司已获专利的聚氨酯配方，使其表面更软，同时具有必要的硬度。这两款产品的性能及配置可调，用户可配置范围包括其多沟槽、子研磨垫及粘性配置。