测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪

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摘要该专利是一种测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪。该相位共轭干涉仪包括产生干涉光束，经第三透镜和第二透镜的平行光束射到街测透明平板上，而后反射回的光束经第二透镜和第一分束器的反射，再经过第四透镜、第二分束器、第三分束器、

出处《中国建材》北大核心 2007年第10期89-89,共1页 China Building Materials

关键词相位共轭表面形貌干涉仪平板测量干涉光束分束器透镜

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中国建材

2007年第10期

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