微波等离子体化学气相淀积法制备YBaCuO超导薄膜初步研究

本文介绍了文献中尚未见报道的利用微波等离子体CVD系统制备YBaCuO超导薄膜的探索性研究结果。在不断调整各工艺参数的基础上,摸索到了生成主相为YBa_2Cu_3O_(7-(?))的较佳淀积条件,并且通过XRD和SEM等分析比较了SrTiO_3单晶、YSZ单晶和宝石作为衬底的淀积效果。