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激光干涉测量较小位移的实验研究

STUDY ON EXPERIMENT OF MEASURING SMALLER POSITION SHIFT BY LASER INTERFERENCE
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摘要 应用迈克耳逊干涉仪原理,采用光电转换技术及条纹计数技术.实现了对较小位移的测量,结果表明,在一定的测量范围内,大大地提高了测量的精度. Based on Michelson Interferometer Theory, by photoelectric transformation technology and fringe count, smaller position shift measuring is performed. As a result,accuracy ration is greatly improved to a certain extent.
作者 黄克林
出处 《松辽学刊(自然科学版)》 1997年第1期91-93,共3页 Songliao Journal (Natural Science Edition)
关键词 误差 精度 激光干涉仪 位移测量 count error accuracy rating measuring
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