现代微电机制造技术发展概述

该文论述了现代微电机小型轻薄,机电一体化及智能化,无刷化,永磁化,采用新原理的太阳能电动机和超声波电机,超微电机等6个方面的技术发展,以及微电机的精密冲压成型、注塑成型、微精机械加工、绕组线圈制造、绝缘处理、微细加工等关键制造技术,并从软磁、永磁、导电材料等三方面说明电工材料对微电机的支撑。