摘要
光点位置测试装置是由西安工业大学研制的，采用二维位敏探测器（PSD）作为测试元件，探测光点重心位置坐标的一套高精度光电测试设备．可根据PSD传感器芯片的大小，合理地选择光学镜头，可以在50mm×50mm到1000mm＋1000mm的范围之间探测光点重心．精度可以达到±25μm．PSD是一种新型的半导体位置敏感探测器，它除了具有光电二极管阵列和电荷耦合器件（CCD）器件所具有的定位性能外，还具有灵敏度高、分辨率高、响应速度快、电路简单的特点．
出处
《西安工业大学学报》
CAS
2007年第4期400-400,共1页
Journal of Xi’an Technological University
