微机械元件及仪器新进展态势研究
摘要
微电子技术的发展。为通讯、信息处理和生产、生活及办公自动化等领域带来了巨大的进步。使人类的生活方式、思维方式和社会的产业结构发生了巨大的变化.将人类带人了信息时代。
出处
《中国高新技术企业》
2007年第14期69-70,77,共3页
China Hi-tech Enterprises
参考文献10
-
1J.Bryzek.New generation of disposable blood pressure sensors[].Proc Sensors Expro.1987
-
2J.Bryzek,etc.Silicon sensors and micro structures in health care in-dustry[].ProcSensorsExpro.
-
3.BIS Strategic Decision:Automotive components forecast II:Sensors market study[]..1993
-
4M.A.Northrop,etc.DNA amplification in a micro-fabricated re-action chamber[].Procth IntConfSolid-State Sensor and(Transduc-er’).1993
-
5R.J.Reay,etc.Micro-fabricated eletro-chemical analysis system for heavy metal detection[].TechDigestth IntConfSolid-State Sensors and Actuators(Transducers‘)/Euro-sensors IX.1995
-
6G Yee,etc. Proc.Solid-State Sensor and Actuator Workshop . 1996
-
7K.H.L.Chan etc.An integrated force-balanced capacitive ac-celerometer for low-g application[].Sensors and ActuatorA.1996
-
8M.Zdeblick.Micro-fabricated thermop-neumatic actuator for use in fluid regulation systems and other integrated elector-fluidic circuits[].ARPA Report.1995
-
9J.Mamin.Compact high capacity data storage wring proximal probes[].ARPA report.1995
-
10D.Jaeggi,etc.Overall system analysis of a CMOS thermal con-verter[].Tech Digestth IntConfSolid-State Sensors and Actuators/Eurosensors IX.2005
-
1吴桂君,颐文琪.微电子机械系统的研究现状[J].电工电能新技术,1994,13(2):29-34.
-
2廉峰.微机械生产发展的前景分析[J].科技信息,2006(04X):34-34.
-
3迟建国,赵强,刘红志.世界电子元件工业发展态势研究[J].世界电子元器件,1999(7):5-8. 被引量:5
-
4顾利忠.光激励微硅梁谐振机理研究[J].中国激光,2000,27(3):253-256. 被引量:4
-
5王丽燕.电子信息技术及其产业发展态势研究[J].科技进步与对策,2001,18(7):63-64. 被引量:1
-
6博世德国微型芯片工厂开工投产[J].汽车与配件,2010(14):15-15.
-
7殷玲,陈非凡,李云龙.一种静电驱动微机械元件的结构模型[J].清华大学学报(自然科学版),2002,42(11):1466-1468. 被引量:5
-
8大舟.光电子学微系统—集成光学在硅片上的新工艺[J].光机电世界,1994,11(8):17-22.
-
9MEMS光开关的控制[J].电子元器件应用,2006,8(7):40-41.
-
10李煜.2007年上半年中国网络设备市场态势研究[J].电子商务,2007,8(9):39-40.