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LIGA 微结构与微电子电路准单片集成方法

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摘要介绍了利用新的微结构塑料模压技术实现ＬＩＧＡ微结构与ＣＭＯＳ微电子电路准单片集成方法。

作者揭景耀

机构地区华东交通大学

出处《新技术新工艺》北大核心 1997年第3期11-11,共1页 New Technology & New Process

关键词 LIGA技术微电子电路微系统 CMOS

分类号 TN432.05 [电子电信—微电子学与固体电子学]

引文网络
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新技术新工艺

1997年第3期

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