真空校准系统及真空计的校准被引量：1

Vacuum Calibration System and the Calibration of Vacuum Gauge

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摘要综述了真空校准系统,对其设计方法提出了一些要求。并详细分析了常用真空计在校准中的注意事项。

作者刘兴胜陈旭

机构地区中国工程物理研究院电子工程研究所

出处《计量与测试技术》 2007年第10期1-2,共2页 Metrology & Measurement Technique

关键词真空校准系统真空计

同被引文献12

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计量与测试技术

2007年第10期

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