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薄膜热印头研制

DEVELOPMENT OF THIN FILM THERMAL PRINT HEAD
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摘要 论述了一种高分辨率、高清晰度、快速打印的薄膜热印头的结构、设计和制造技术,主要研究Ta2N。 This paper discusses the structure, design, and manufacturing techniques of the Thin Film Thermal Print Head(TFTPH)with high resolution, superior visibility and high printing speed. The influence of the function parameters of the thin film made of Ta 2N, SiO 2 and Ta 2O 5 on the TFTPH is also studied.
出处 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 1997年第3期375-379,共5页 Journal of Tianjin University(Science and Technology)
基金 国家重点科技攻关项目
关键词 热印头 薄膜热印头 热印机 打印装置 thin film, thermal print head, reactive sputtering
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参考文献1

  • 1田民波,薄膜科学与技术手册,1991年

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