工序粒子计数器

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摘要工序粒子计数器水野真人目前，在０．２μｍ超微细膜片加工过程或薄膜晶体管中，４００ｍｍ２的大面积均匀成膜加工工艺，已达到实用化，而表面污染控制技术对产品合格率、质量、可靠性具有直接较大的影响力。仅从粒子来看，曾经竞相建立超净室，由于过程、装置无人化、自...

作者水野真人韩美

出处《低温与特气》 CAS 1997年第1期27-29,共3页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词半导体薄膜粒子计数器污染控制

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低温与特气

1997年第1期

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