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透射电子显微镜高压电子枪的真空检漏 被引量:1

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摘要 本文报道了在维修日本HITACHI公司透射电子显微镜高压电子枪过程中发现的喷射氟里昂是真实检漏中一种简单而实用的方法。维修后高压电子枪的真空度达到1.33×10^-3Pa,灯丝的寿命超过70小时,为日本HITACHI公司所给指标的两倍。
出处 《四川真空》 1997年第1期12-13,共2页
  • 相关文献

同被引文献5

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引证文献1

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