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可否向450mm晶圆制造进军

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摘要 IC行业制造商和材料提供商最近表达了可能把IC制造从300mm晶圆制造转为450mm晶圆制造方面的看法。
作者 Bill McClean
机构地区 IC Insights Inc.
出处 《电子工业专用设备》 2007年第11期45-45,47,共2页 Equipment for Electronic Products Manufacturing
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