一种离子注入机离子源用钨铼合金杆及其制备方法

本发明公开了一种离子注入机离子源用钨铼合金杆及其制备方法，钨铼合金杆由互锁伸长结构的晶粒组成，晶粒的长宽比值大于10，其成分含量：钨≥99．1％（质量分数，下同），铼0．2％～0．9％，它还含有掺杂剂，由于在钨中加入一定含量的铼，它克服了传统钨杆的缺点，兼具高熔点，高强度，高硬度，高塑性、电阻率高，高的再结晶温度、高的热电势值、低的蒸气压等特点，