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中心电极射频感应等离子体管件内表面改性

Inner Surface Modification of Tubes by Radial Frequency Inductively Coupled Plasma from a Central Electrode
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摘要 本文利用中心电极射频感应等离子体对金属管件内壁进行表面改性处理,验证了该方法的合理性以及可行性.利用该方法制备出了类金刚石(DLC)薄膜,为管型和瓶型样品的内壁强化提供新的手段. Inner surface of a metal tube was modified by radial frequency inductively coupled plasma from a central electrode. The rationality and feasibility of the method was tested. And diamond like carbon （DLC） film was prepared successfully, which can provide a new method for inner surface modification of tube or bottle type samples.
作者 钮金真 敖玲 李云 张灿书 张谷令
机构地区 中央民族大学物理与电子工程学院
出处 《中央民族大学学报（自然科学版）》 2007年第1期47-51,共5页 Journal of Minzu University of China(Natural Sciences Edition)
关键词 等离子体源离子注入 内表面 类金刚石 PSII inner surface DLC
分类号 O539 [理学—等离子体物理]
  • 相关文献

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共引文献16

中央民族大学学报（自然科学版）
2007年 第1期

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