摘要
真空机器人是先进半导体制造行业中不可缺少的重要设备之一。本文介绍了一种并联型真空机器人的运动学模型,以及利用OpenGL和STL格式文件在Visual C++6.0程序界面中实现3D图形仿真的方法,取得了良好的实验效果,为进一步实现上位机实时在线监控奠定了基础。
Vacuum robot is an essential device in advanced semiconductor manufacture.This paper introduces the kinematic modeling of a kind of parallel vacuum robot and the implementation of 3D graphical simulation based on OpenGL and STL files in Virtual C＋＋ program interface, which also offers the possibility of real-time online monitoring of the robot.
出处
《微计算机信息》
北大核心
2007年第35期237-239,239,共3页
Control & Automation
基金
科技部超大规模集成电路制造装备重大专项(2005AA4Z5022)
