100mmY系高温靶材及制备工艺

Preparation Technology of  100mm Y System High T c Superconductive Target

随着世界范围内掀起的超导热，各国都相继也开展了高Ｔｃ超导体、高Ｔｃ超导薄膜的研制。随着超导薄膜应用研究的深入，小面积膜逐步向大面积膜发展。超导靶材是制备超导薄膜材料的溅射源，因此制备出大面积膜的关键技术是制备高质的靶材。１００ｍｍＹ系高温靶材是从解决高Ｔｃ超导粉入手，开展大靶材制备工艺研究的。１实验靶材制备工艺如下：原料配比→生料多次预烧→多次研磨→超导粉→压力成型→烧结工艺→超导靶材→测试超导性→制膜。将粉末按严格１∶２∶３（摩尔比）进行配比，在９１０℃预烧１４ｈ，然后进行研磨；在３０～５０ＭＰａ／ｃｍ２压力作用下预烧成型，成型坯料在９５０℃煅烧１４ｈ，以一定速度缓慢降至室温，然后测其Ｔｃ值。２结果与讨论优质的超导粉是制备各种超导材料的关键基础材料，光滑平整，靶质致密、成分准确、室温电阻小的大尺寸超导靶材依赖于超导粉的准确成分、纯度、粒度及均匀性等影响因素。超导粉制备大尺寸靶材对成型压力、热处理中的温度与时间对大尺寸靶材的影响。适当的压力才能使靶材不易有夹芯，同时具有较大的机械性能，适当的温度也是必要的。３结论采用本文方法制作靶材，Ｔｃ稳定在９０Ｋ以上，Ｊｃ在１０５以上。