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激光电镀工艺成为新一代高能束流电镀技术
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摘要
激光电镀是新兴的高能束流电镀技术,它对微电子器件和大规模集成电路的生产和修补具有重大意义。
出处
《光机电信息》
2007年第11期57-58,共2页
OME Information
关键词
电镀技术
高能束流
激光电镀
电镀工艺
大规模集成电路
微电子器件
分类号
TQ153 [化学工程—电化学工业]
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