新型电子功能材料——金刚石膜及其应用

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摘要金刚石材料具有其它半导体材料不可比拟的许多优点，作为一种新型电子功能材料，有广泛应用前景。文内介绍了部分应用实例。

作者薛泉林

机构地区电子部七所

出处《电子科技导报》 1997年第7期30-32,共3页

关键词金刚石薄膜电子功能材料

1薛泉林.新型电子功能材料：金刚石膜及其应用[J].广东电子,1997(11):27-30.
2李国祥.国外电子功能材料发展动向[J].国外科技消息,1989(12):3-4.
3李国祥.国外电子功能材料的发展趋势[J].国外产品与技术,1989(6):19-20.
4孟宪华.电子功能材料发展趋势[J].电子纵览,1995(4):4-5.
5朱黎辉.中国半导体硅(多晶、单晶)材料发展60年[J].新材料产业,2009(12):24-28.
6张忱.电子功能材料发展趋势[J].电子材料（机电部）,1994(11):1-3.
7陈光华,卢阳华.制备参数和退火对a－C∶H膜光学性质的影响[J].Journal of Semiconductors,1996,17(11):846-851. 被引量：1
8朱黎辉.中国半导体硅材料（多晶、单晶）材料发展60年[J].创新（深圳）,2010(1):30-32.
9曾祥斌,白铁城.用AlN薄膜提高NiCr电阻网络的可靠性[J].电子元件与材料,1997,16(3):23-27.
10张清泉.纳米技术在电子产品中的应用[J].仪器仪表与分析监测,2005(2):1-2.

电子科技导报

1997年第7期

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